哈尔滨微纳叉指电极
叉指电极制备方法包括四个步骤：(1)衬底清洗。首先需要对基片进行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在购得洁净硅片的基础上，再依次进行乙醇、去离子水的超声清洗。 (2) 光刻。光刻是一种将掩膜版上图形转移到衬底表面的技术，在大规模集成电路制造中有应用，其主要利用紫外光照射光刻胶使其化学性质改变，然后去除相应光刻胶，得到掩模版上的图形，进而作为后续工艺的掩模。(3) 薄膜沉积。主要包括物理方法和化学方法沉积。(4) 剥离(lift-of)。剥离是在衬底上进行薄膜沉积后，通过去除光刻胶的方法使附着在光刻胶上的金属脱附，直接沉积在衬底的金属被保留，形成电极图形。剥离工艺的优势是操作简单、成本低廉，而且去胶过程中不会对衬底产生刻蚀损伤。生物传感器领域内，衬底材料主流发展方向之一。哈尔滨微纳叉指电极
银/氯化银电极是常使用的参比电极之一，同时也是商用化的生物医用电极，目前的应用于各类电化学传感器、生物传感器以及生物医用电极。银/氯化银参比电极，虽然其具有优异的电位稳定性，但由于在保存和使用过程中需要经常更换电解液，以及不可避免的存在液接电势影响了检测的准确性。银/氯化银电极有多种制备方法，利用银和氯化银材料可以浆料化的特点，通过银/氯化银电极浆料制备研究，实现丝网印刷工艺制备银/氯化银浆料电极，具有设计灵活、小巧轻便、结构简单、成本低廉、重复性好、一致性高、适宜工业化生产等优点。广州叉指电极设计电化学叉指电极是一类以微生物作为识别元件的生物传感器。
用于高灵敏免疫分析的微间距叉指阵列电极,如96孔U型板，用于酶或者细胞的批量检测。微间距叉指阵列电极制备采用传统的光刻显影镀膜方法，在清洁光刻基片（石英、陶瓷或玻璃材料）上用甩胶机上涂上一层光刻胶，然后在光刻机中将掩膜版与基片对准，紫外曝光将掩膜版上的图形转移到基片上，显影去掉曝光部分的光刻胶，采用真空溅射在基片上依次喷涂30nm厚的Ti层和120nm厚的Au层，用有机溶剂氯仿除去基片上的感光胶后，可制备得到微间距叉指阵列金电极。
叉指电极修饰可以提升传感器的灵敏度，且电极本身不具备特异性检测功能，需要对电极进行修饰敏感膜来获得特异性检测的功能。敏感膜是生物化学传感器的重要组成部分。生物敏感膜是使用有生物活性的材料作为敏感膜，需要将生物活性材料固定到微电极的工作电极上,它的固定是一项关键技术。生物敏感膜包括酶、微生物、免疫蛋白、DNA 单链等。根据不同的生物功能物质，有五大类方法:物理或化学吸附法、凝胶包埋法、共价键固定法、交联法以及分子自组装固定法。其中自组装单层膜简称自组装膜，为目前研究较多，对固体表面进行修饰为有效的分子有序组装体系。叉指电极阵列以玻璃基为衬底具有良好的生物相容性。
随着全球糖尿病患者的增多，全球血糖仪的市场也逐渐庞大，达到了近 200 亿美元，在国内的血糖仪市场中，外国企业拥有优势，其中以强生，罗氏，雅培这几个常见品牌为首占据了超六成的市场份额，国产品牌以三诺，硅基动感为主，近年鱼跃医疗也逐步开始进入血糖市场。1968年血糖仪被发明之后，血糖仪技术逐步完善，经历了如水洗式、擦血式血、比色法、电化学法等几代的技术更新，并开始向可穿戴式连续血糖仪发展。如今，市面上使用的自测血糖仪大多是电化学法血糖仪，而近年来科技的进步，智能化的可穿戴式设备也逐步被普及，随着人们养生意识的强化和对健康生活方式的追求，可穿戴式生命健康设备的需求量也在迅速提高，现在的血糖仪研究也开始向多部位血糖仪的方向发展，旨在实现对血糖变化数据的实时监测。连续血糖检测技术能提供随时间变化的血糖浓度曲线，并能预测血糖浓度下一时刻的变化趋势。叉指电极采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备，集成结构为叉指阵列分布的工作电极和对电极。佛山铂叉指电极
生物传感器是一种以生物活性单元为敏感元件, 结合化学、物理转换元件。哈尔滨微纳叉指电极
柔性叉指电极使用过程中会发生弯曲或折叠，可使电场分布发生变化，相邻叉指电极的电容值与弯曲或折叠角度相关。叉指电极的电容值和灵敏度随着弯曲或折叠的角度增大而降低。柔性电极的基体有更低的硬度和杨氏模量，拥有很好的回弹性，同时根据不同的应用场景，对热稳定性、渗透性、透光性、附着性和防水性等也有不同程度的要求。柔性电极多采用聚合物作为其柔性衬底，常见的聚合物包括聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚酰亚胺（PI）和聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，但 PET、PEN、PI 等常见的高分子塑料衬底只有可弯曲性而缺乏拉伸性，考虑到开发具有优异拉伸性的弹性衬底也是非常有必要的。因此，其他材料比如聚二甲基硅氧烷（PDMS）、热塑性聚氨酯（TPU）、脂肪族芳香族无规共聚酯（Ecoflex）和聚合物水凝胶等，都是具有低弹性模量和高可拉伸性的衬底材料。哈尔滨微纳叉指电极
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